Eagle 系列超音波顯微鏡SAT
高解析非破壞檢測|微米級內部成像|智能缺陷分析
應用於半導體、材料科學、電子封裝與航太產業
Eagle 系列超音波顯微鏡是一款高精度的非破壞檢測設備,利用高頻超音波技術對材料內部進行掃描與成像,在不影響樣品完整性的前提下,即可清楚觀察其內部結構與潛在缺陷。
相較於傳統檢測方式,超音波顯微鏡能夠深入材料內部,以微米級解析度呈現細微結構變化,提供更精準且可靠的分析依據。因此廣泛應用於半導體製造、電子封裝、材料科學以及航太與高階製造產業,成為品質控制與失效分析中不可或缺的重要工具。
高解析成像與多模式檢測
本系統支援多種掃描與成像模式,包括 A、B、C、D 以及 X 模式,可依不同檢測需求靈活切換。透過多維度成像技術,使用者能從不同角度分析材料內部結構,不僅可觀察缺陷位置,亦能進一步了解其分佈與深度。
此外,系統支援波形對比與數據標記功能,能有效追蹤缺陷變化,讓分析過程更加直觀且精確,大幅提升檢測結果的可靠性。
智能化缺陷識別與分析
Eagle 系列超音波顯微鏡整合智能演算法與機器視覺技術,能夠自動識別多種類型的缺陷,包括裂紋、孔隙、夾雜物與分層等問題。系統可快速從大量掃描數據中篩選出異常區域,協助使用者在短時間內完成精準判讀。
同時,使用者亦可透過人工框選缺陷區域,由系統自動計算缺陷的尺寸、面積與比例,簡化繁複的分析流程。這種人機協作的檢測模式,不僅降低了人工判斷誤差,也顯著提升整體檢測效率與一致性。
高效率檢測與量產應用
為因應現代製造業對效率的需求,本設備具備多項優化檢測流程的功能。例如,可自訂非掃描區域,讓系統自動跳過不需檢測的部分,有效縮短整體掃描時間。
此外,系統支援托盤掃描功能,可同時對多個相同類型的樣品進行批量檢測,特別適用於量產環境。透過自動化與批次化的操作模式,企業可大幅提升產線檢測效率,同時確保品質穩定。
精密量測與資料整合能力
在量測功能方面,Eagle 系列提供多達九種測量方式,包含點對點距離、多線段分析以及平行寬度測量等,能滿足不同應用場景下的精密測量需求。
檢測完成後,系統亦支援多種資料輸出格式,包括影像(PNG)、數據報表(Excel)以及點雲資料,方便使用者進行後續分析、報告製作或整合至其他系統。這樣的資料整合能力,能有效提升整體工作流程的效率與彈性。
高性能硬體與穩定平台
在硬體配置方面,Eagle 系列搭載高性能超音波收發系統,頻率最高可達 300 MHz,具備優異的解析能力與靈敏度,可精準檢測微小缺陷。
掃描平台則採用高精度運動控制系統,定位精度可達微米等級(±0.5 μm),並具備高速掃描能力,兼顧檢測效率與穩定性。
此外,系統搭載高效能工控電腦,配置 Intel i7 處理器、32GB 記憶體與高階顯示卡,搭配 4K 高解析顯示器,能即時處理大量影像數據並提供清晰的檢測畫面,滿足高階應用需求。
一、超音波與數位系統
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 收發頻率範圍 (MHz) | 5 – 300 |
| 增益範圍 (dB) | -11.5 ~ 70 |
| 增益步進 (dB) | 0.5 |
| 最大 PRF (kHz) | 65 |
| 高通濾波 (MHz) | 5 / 30 |
| 低通濾波 (MHz) | 150 / 300 |
| 激勵時間 (ns) | 2.2 |
| 取樣率 (GHz) | 2 |
二、機械與運動系統
Eagle 4501P
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 掃描範圍 (mm) | 450 × 300 × 120 |
| 最大速度 (mm/s) | 1200 |
| 水槽尺寸 (mm) | 500 × 400 × 160 |
| 光柵精度 (μm) | 0.1 |
| 整機尺寸 (mm) | 1290 × 980 × 1930 |
| 定位精度 (μm) | ±0.5 |
| 運行空間 (mm) | 1700 × 1480 × 2100 |
Eagle 4501
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 掃描範圍 (mm) | 450 × 300 × 120 |
| 最大速度 (mm/s) | 1000 |
| 水槽尺寸 (mm) | 500 × 400 × 160 |
| 光柵精度 (μm) | 0.1 |
| 整機尺寸 (mm) | 1290 × 980 × 1930 |
| 定位精度 (μm) | ±2 |
| 運行空間 (mm) | 1700 × 1480 × 2100 |
三、掃描平台參數
| 軸向 | 行程 (mm) | 加速度 (G) | 最大速度 (mm/s) | 定位精度 (μm) |
|---|---|---|---|---|
| X軸 | 450 | 1 | 1200 | ±0.5 |
| Y軸 | 300 | 0.2 | 300 | ±0.5 |
四、電腦配置
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 機箱 | IPC-7132 |
| CPU | Intel Core i7 |
| 記憶體 | 32GB DDR5 |
| 顯示器 | 27 吋 4K |
| 顯示卡 | GeForce RTX 4060Ti 16GB |
| 儲存裝置 | 2TB SSD |
五、資料輸出
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 掃描類型 | A 掃描 / C 掃描 / 原始數據 |
| 輸出格式 | PNG、Excel、點雲資料 |
多元產業應用
Eagle 系列超音波顯微鏡可廣泛應用於多種高科技產業,並在品質檢測與失效分析中發揮關鍵作用。
在半導體領域中,可用於檢測晶圓鍵合界面的空洞、裂紋與分層問題,協助優化製程並提升產品良率。
IGBT
IGBT模組作為功率電子系統的核心部件,其焊層品質與內部封裝結構直接決定了模組在車規級應用中的可靠性與壽命表現。
基板—下銅層 / 下銅層—上銅層
上銅層—芯片 / 芯片—樹脂
散熱模組與液冷系統 Heatsink
於散熱模組與液冷系統中,設備可有效檢測焊接缺陷與流道阻塞問題,確保散熱效率與長期穩定性。
陶瓷覆銅板AMB/DBC
陶瓷覆銅板(DBC / AMB)中,可分析層間結構與內部缺陷,提升產品可靠性。
多層陶瓷電容MLCC
SMD電阻
多層陶瓷電容的性能與可靠性依賴於內部結構的完整性。超音波顯微鏡可檢測層間氣泡、裂紋等微小缺陷,並精確分析缺陷的位置與尺寸,為品質控制提供科學依據,確保其在複雜環境下的穩定運行。
鈦鋁合金 Titanium-Aluminum Composite
此外,在金屬材料如鈦鋁合金的應用中,亦可檢測內部孔洞與分層狀況,確保材料強度與使用壽命,特別適用於消費電子與高端製造領域。